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每经小编了解到,EUV是目前世界上最昂贵也是最先进的芯片生产工具。小于5纳米的芯片晶圆,目前只能用EUV光刻机生产。三星电子和台积电目前正竞争生产7纳米工艺技术芯片,这两家都订购了阿斯麦公司的EUV光刻机。中芯国际这次引进的EUV光刻机预计将于2019年初交付。而在2017年3月,中芯国际宣布将进军7纳米工艺技术的研发。

据快科技等报道,长江存储订购的这台光刻机采用193nm沉浸式设计,可生产20-14nm工艺的3D NAND闪存晶圆,售价达7200万美元,约合人民币4.6亿元。目前,该机已经运抵武汉天河机场,相关入境手续办理完毕后,即可运至长江存储的工厂。

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